产品名称：芯明天放大机构式压电扫描台
产品型号：P12
产品报价：
产品特点：芯明天放大机构式压电扫描台 P12压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3维并联式平移扫描台，台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm，满足显微等应用。压 电扫描台可以实现单轴320μm的位移行程，一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选，以满足不同应用的需求。
更新日期：2026-07-20
芯明天放大机构式压电扫描台P12压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3维并联式平移扫描台，台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm，满足显微等应用。压 电扫描台可以实现单轴320μm的位移行程，一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选，以满足不同应用的需求。
芯明天放大机构式压电扫描台P12压电扫描台特性
• 大位移320μm
• 大承载0.8kg
• 台体中心通孔
• 闭环重复定位精度高
1~3维扫描台
P12系列压电纳米定位台为1~3维直线压电扫描台，包 括X、Z、XY、XZ、XYZ等多种规格型号，通孔直径25mm 或35mm可选。
小体积、大位移、中心通孔
P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理，超小的体 积外形，尺寸仅为60×60×24mm，可以实现大320μm 的扫描范围，中心通孔可选25mm或35mm，35mm通孔 对应台体外形尺寸为70×70×24mm。
台体采用FEA有限元分析优化设计，具有零摩擦、超高 导向精度、纳米级分辨率等优点。
P12系列压电扫描台内置高可靠性表面绝缘压电陶瓷， 确保了扫描台的可靠性与稳定性。
P12.Z300闭环稳定时间图
P12系列压电扫描台具有优异的阶跃稳定性，下图为P12.Z300 大位移320μm闭环稳定时间图。
P12压电扫描台典型应用
•扫描干涉•共焦显微
•晶圆定位•表面测量
•图像处理与稳定•光学捕获
P12压电扫描台技术参数：
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P12.X100SP12.X100K |
P12.Z100SP12.Z100K |
P12.Z200SP12.Z200K |
P12.Z300SP12.Z300K |
P12.XY100SP12.XY100K |
P12.XYZ100SP12.XYZ100K |
单位 |
运动自由度 |
X |
Z |
Z |
Z |
X、Y |
X、Y、Z |
||
标称行程范围(0~120V) |
80 |
80 |
160 |
240 |
80/轴 |
80/轴 |
μm±20% |
|
大行程范围(-20~150V) |
110 |
110 |
210 |
320 |
110/轴 |
110/轴 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
||
通孔尺寸 |
Ø25/Ø35 |
Ø25/Ø35 |
Ø25/Ø35 |
Ø25/Ø35 |
Ø25/Ø35 |
Ø25/Ø35 |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
7/4 |
7/4 |
7/4 |
11/5 |
7/4 |
7/4 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.05/- |
0.05/- |
0.1/- |
0.4/- |
0.05/- |
0.15/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.01/- |
0.01/- |
0.03/- |
0.15/- |
0.03/- |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
<15 |
<15 |
<10 |
<15 |
µrad |
|
推/拉力 |
30/10 |
30/10 |
30/10 |
30/10 |
25/8 |
20/4 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
0.3 |
0.2 |
0.1 |
X0.25/Y0.3 |
X0.3/Y0.25/Z0.2 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
230 |
220 |
150 |
100 |
X180/Y230 |
X230/Y180/Z150 |
Hz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
10/0.8 |
10/0.8 |
15/1.6 |
30/2.4 |
15/0.8 |
30/0.8 |
ms±20% |
|
闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
100 |
100 |
50 |
30 |
100 |
50 |
Hz±20% |
行程 |
9 |
10 |
5 |
3 |
9 |
5 |
||
大承载 |
0.8 |
0.8 |
0.5 |
0.4 |
0.7 |
0.6 |
kg |
|
静电容量 |
1.8 |
1.8 |
3.6 |
5.4 |
1.8/轴 |
1.8/轴 |
μF±20% |
|
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
||
重量 |
140 |
140 |
200 |
260 |
200 |
260 |
g±5% |
|
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
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