产品名称：CAP电容测微仪系列
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产品特点：CAP电容测微仪系列通过电容测头可以测量0-200μm范围内的微小位移，测量精度为纳米级。测微仪由机箱与传感模块组 成，可组成多通道测量。
更新日期：2026-07-21
E09.Cap电容非接触式测微仪，通过电容测头可以测量0-200μm范围内的微小位移，测量精度为纳米级。测微仪由机箱与传感模块组 成，可组成多通道测量。
CAP电容测微仪系列特性：
• 模块化设计、自由组拼
• 可提供单个板卡模块
• 高分辨率 • 模拟输出
• 非接触式测量
原理
它基于一个理想的平行板电容器原理，传感器与相对面被测目 标形成的两个电极，采用保护环电容器原理，用于测量任何金属 时，传感器仍是线性的。
应用：
• Z向水准测量 • X, Y向定位
• 轴向振动测量
• 热膨胀测量 • 位移台传感器
型号 |
E09.Cap |
单位 |
量程范围 |
0~200 |
μm |
线性度 |
±0.1 |
μm |
静态分辨率 |
2.5 |
nm |
动态分辨率（1kHz） |
100 |
nm |
传感器直径 |
10 |
mm |
小目标直径 |
10 |
mm |
静态重复性 |
5 |
nm |
信号温度稳定性 |
＜ 0.005 |
%FSO/℃ |
长期稳定性 |
＜ 0.04 |
%FSO/ 月 |
带宽 |
2 |
kHz（-3dB） |
工作温度范围 |
+10~+50 |
℃ |
环境湿度 |
<85 |
% |
电压输出范围 |
0~+10 |
V |
供电电压 |
220VAC 50Hz±10% |
|
传感器线长 |
1.6 |
m |
板卡尺寸：长×高× 深 |
35×130×180 |
mm |
机箱尺寸：长×高× 深 |
280×170×360 |
mm |
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