产品名称：XP-780系列大行程压电扫描台
产品型号：XP780
产品报价：
产品特点：XP-780系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理， 可以实现大220μm的位移行程，无摩擦无空回的柔性导向 机构使其具有超高的分辨率，选择配置闭环传感器可实现纳 米级的定位精度，台体通孔使其适用于显微扫描等应用。
更新日期：2026-07-21
XP-780系列大行程压电扫描台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式 实现二维、三维运动。采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X轴大220μm的 位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。
大行程、高精度、大负载
XP-780系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理， 可以实现zui大220μm的位移行程，无摩擦无空回的柔性导向 机构使其具有超高的分辨率，选择配置闭环传感器可实现纳 米级的定位精度，台体通孔使其适用于显微扫描等应用。
优异的结构设计使其具有非常高的刚度，承载能力大， 可带载5kg的样品作精密定位
XP-780系列压电扫描台包括X、XY、XZ、XYZ多种规格 型号，可以自由叠加组合。
XP-780系列压电扫描台典型应用
• SPM扫描显微镜 • 干涉
• 掩模/晶圆定位 • 计量
• 生物技术 • 表面结构分析
特性
• zui大位移220μm
• zui大承载5kg
• 通孔尺寸：25×25mm
• 闭环重复定位精度高 • 开/闭环可选
XP-780系列压电扫描台技术参数：
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
XP-780.XS XP-780.XK |
单位 |
运动自由度 |
X |
||
标称行程范围（0~120V） |
160 |
μm±20% |
|
zui大行程范围（-20~150V） |
220 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
||
通孔尺寸 |
25×25 |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
10/5 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<50 |
µrad |
|
推/拉力 |
80/40 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.5 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
200 |
Hz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
20/5 |
ms±20% |
|
闭环空载工作频率 |
10%行程 |
50 |
Hz±20% |
行程 |
15 |
||
zui大承载 |
5 |
kg |
|
静电容量 |
11 |
μF±20% |
|
材质 |
铝 |
||
重量 |
240 |
g±5% |
|
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
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