产品名称：一维X轴压电纳米定位台
产品型号：P66
产品报价：
产品特点：P66一维X轴压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位 系统。可以通过叠加组合的方式组成二、三维压电纳米定位台，实现XYZ轴34μm的位移行程，可选择内置高精度传感器进行闭环纳米级 精密定位控制。产品已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。
更新日期：2026-07-21
P66一维X轴压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位 系统。可以通过叠加组合的方式组成二、三维压电纳米定位台，实现XYZ轴34μm的位移行程，可选择内置高精度传感器进行闭环纳米级 精密定位控制。产品已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。
典型应用
• 干涉/ 扫描 • 计量
• 质量保证测试 • 微加工/精密控制
• 光盘驱动测试 • 半导体技术
应用实例：原子力探针扫描显微镜
芯明天P66.XY压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可 靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。
特性：
• 大位34μm• 开环闭环可选 • 大承载5kg• 重复定位精，可达纳米级• 亚毫秒响应时间
1-3维平移台
P66系列压电纳米定位台包括X、XY、XZ、XYZ 多种规格型号，可以实现1-3维纳米级精密运动与定 位。
开环与闭环版本可选
P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版 本，闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快 速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合 适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信 号。
传感器使用全桥配置以消除热漂移，使得该系列 纳米定位台可以实现满行程0.05%的线性度与重复 度。
P66一维X轴压电纳米定位台技术参数;
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P66.X30S P66.X30K |
P66.XY30S P66.XY30K |
P66.XYZ30S P66.XYZ30K |
单位 |
|
运动自由度 |
X |
X、Y |
X、Y、Z |
||
标称行程范围（0~120V） |
24 |
24/轴 |
24/轴 |
μm±20% |
|
大行程范围（-20~150V） |
34 |
34/轴 |
34/轴 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
||
闭/开环分辨率 |
1.5/0.7 |
1.5/0.7 |
1.5/0.7 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.05/- |
0.05/- |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
0.05/- |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
<15 |
<15 |
µrad |
|
推/拉力 |
150/15 |
120/15 |
80/15 |
N |
|
运动方向刚度 |
5 |
X4/Y4.2 |
X2.8/Y3/Z3.2 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
2.6 |
X1.1/Y1.8 |
X1.2/Y0.8/Z0.5 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
5/0.8 |
5/0.8 |
10/0.8 |
ms±20% |
|
闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
500 |
260 |
150 |
Hz±20% |
行程 |
50 |
25 |
15 |
||
大承载 |
5 |
4.5 |
3.5 |
kg |
|
静电容量 |
3.6 |
3.6/轴 |
3.6/轴 |
μF±20% |
|
材质 |
铝 |
铝 |
铝 |
||
重量 |
120 |
260 |
500 |
g±5% |
|
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
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