产品名称：P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm
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产品特点：P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm
P66.X60压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构的压电位移平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等。
更新日期：2026-07-21
特性P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm
应用
• 光盘驱动测试 开闭环版本可选
传感器使用全桥配置已消除热漂移，使得该系列纳米定位台可以实现较高的线性度与重复度。
P66.X60一维X向压电纳米定位台 60μm
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P66.X60S |
P66.X60K |
单位 |
运动自由度 |
X |
X |
||
行程（0~120V） |
48 |
48 |
μm±20% |
|
行程（0~150V） |
48 |
48 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS |
- |
||
闭/开环分辨率 |
2 |
0.8 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<20 |
<20 |
µrad |
|
推/拉力 |
160/16 |
160/16 |
N |
|
运动方向刚度 |
2.8 |
2.8 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
1.3 |
1.3 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
10 |
1.6 |
ms±20% |
|
闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
200 |
200 |
Hz±20% |
行程 |
20 |
20 |
||
大承载 |
6 |
6 |
kg |
|
静电容量 |
7.2 |
7.2 |
μF±20% |
|
材质 |
铝 |
铝 |
||
重量 |
190 |
190 |
g±5% |
|
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