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产品名称:N31系列三维压电马达

产品型号:

产品报价:

产品特点:N31系列三维压电马达,可在XYZ三个方向运动,配备有增量式编码器进行闭环控制。内部采用PZT压电式驱动,每轴运动行程可选25、50、100mm,可达纳米级分辨率。

更新日期:2026-07-21

N31系列三维压电马达的详细资料:

N31系列三维压电马达

三维闭环压电马达可在XYZ三个方向运动,配备有增量式编码器进行闭环控制。内部采用PZT压电式驱动,每轴运动行程可选25、50、100mm,可达纳米级分辨率。

产品特点

行程25、50、100mm/轴可选

纳米级分辨率

增量式编码器

承载达2.5kg

产品应用

超分辨成像样品移动

微纳装备及制造

扫描电镜(SEM)样品操纵

纳米聚焦与扫描

主动光学

集成电路制造与检测

显微及纳米CT

大范围电子束直写(EBL)

高真空样品精度对准及调姿


N31系列三维压电马达


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