1.压电移相器压电偏转镜特性 • θx,θy二维偏转及Z向升降运动，zui大偏转角度0.8mrad，zui大直线位移8μm • 分辨率高 • 温度稳定性高 • 亚毫秒响应时间 开环、高动态性、中心通孔 | 频率负载曲线 | 驱动控制 | P36压电偏转镜/移相器为多轴俯仰升降台，产品体积为Ø20×19.5mm，可以实现θx, θy轴0.8mrad的偏转，Z轴12μm的升降，开环版本具有超高的分辨率及超快的响应速度，三角架结构设计具有超宽的使用温度范围。 台体中心带有通孔孔径为Ø10mm，适用于需要透光的应用，如光过滤等。 P36系列压电偏转镜/移相器有两个版本可选，开环Z向平台或开环Z向/俯仰/偏转台，Z向升降平台提供顶部环在垂直方向的定位（活塞运动），Z向升降/俯仰/偏转定位台可实现垂直（活塞运动）定位及俯仰/偏转定位。 | 
| P36压电偏转镜/移相器内部三支压电陶瓷促动器并联连接，提供顶部环在垂直方向的定位（活塞运动）时，只需一个驱动通道。 提供Z向升降/俯仰/偏转运动时，需三个驱动通道。 |
2.压电移相器压电偏转镜运动方式 | 可配套镜片转接座 | 应用 | 
| P36压电偏转镜/移相器可选择配套镜片转接座方便镜片的安装与固定。 
| • 图像处理/稳定 • 干涉法 • 激光扫描/光束偏转 • 激光调谐 • 光过滤/开关 • 光束稳定 • 光束扫描 • 隔行扫描、抖动 • 光束偏摆/稳定 • 光学、激光扫描、通信 • 光学滤波器/开关 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 自适应光学、稳像 • 干涉 |
3.压电移相器压电偏转镜产品测试 | | |  
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型号 | 尾缀K-开环 | P36.Z1K | P36.ZT1K | 单位 | 运动自由度 | Z | θx,θy,Z | | 运动和定位 | θx, θy标称偏转角度（0~+120V） | - | 0.55 | mrad±20% | Z向直线标称行程（0~+120V） | 8 | 8 | µm±20% | θx, θyzui大偏转角度（-20~+150V） | - | 0.8 | mrad±20% | Z向直线zui大行程（-20~+150V） | 12 | 12 | µm±20% | θx,θy偏转分辨率 | - | 0.02 | µrad | Z向直线分辨率 | 0.1 | 0.1 | nm | 机械性能 | 空载谐振频率 | 7.5 | θx3.2/θy3.5/Z7.5 | kHz±20% | 空载阶跃时间 | 0.5 | 0.5 | ms±20% | 空载工作频率* | 10%行程 | 2000 | 1500 | Hz±20% | 行程 | 200 | 150 | 驱动性能 | 静电容量 | 0.5 | 0.5 | μF/轴±20% | 其他 | 工作温度范围** | -20~80 | -20~80 | °C | 材质 | 钢 | 钢 | | 外形尺寸（外径-内径/高） | 20-10/19.5 | 20-10/19.5 | mm | 重量 | 50 | 80 | g±5% | 出线长 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | 电压连接器*** | LEMO | LEMO | |
*若此工作频率已非常接近或超过谐振频率，建议在远小于谐振频率以下使用，若必须在此频率下工作，输入电压一定要足够小，请务必从zui小信号逐渐调试。
** 可定制超低温版本及超高真空版本。
*** 连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。 |
