产品名称：芯明天放大机构式压电扫描台
产品型号：P17
产品报价：
产品特点：芯明天放大机构式压电扫描台 P17压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可 靠性压电陶瓷，可以实现XY轴210μm的扫描范围，通光孔为60×60mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。
更新日期：2026-07-20
芯明天放大机构式压电扫描台P17压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可 靠性压电陶瓷，可以实现XY轴210μm的扫描范围，通光孔为60×60mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。
芯明天放大机构式压电扫描台P17压电扫描台特性
•大位移210μm
• 大承载1kg
• 通孔尺寸：60×60mm
• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快
XY二维扫描台
P17二维压电扫描台中心大通孔，满行程位移210μm。
大通孔、大行程、稳定性好、响应速度快
P17系列压电扫描台为压电陶瓷驱动快速、高精度 扫描台，可以实现XY轴210×210μm的位移行程，优异 的结构设计无摩擦、导向精度高、响应速度快、响应时间可达5毫秒。
闭环版本采用高精度的传感反馈，与E00/E01系列 闭环控制器配套使用，具有非常高的稳定性。台体中心 60×60mm大通孔，适合工业自动化中的晶圆定位或微 操作等应用。
P17压电扫描台典型应用
• 图像处理与稳定
• 扫描显微
• 干涉/计量 • 表面检测
• 晶圆定位 • 微操作
应用实例
P17系列压电扫描台适用于需要大行 经成功应用于半导体测试、表面结构分析 天压电物镜定位器配套用于晶圆定位，可带动晶圆做XY轴210μm行程范围的纳米级精密定位。
P17压电扫描台技术参数：
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P17.XY200SP17.XY200K |
单位 |
运动自由度 |
X、Y |
||
标称行程范围（0~120V） |
150/轴 |
μm±20% |
|
大行程范围（-20~150V） |
210/轴 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
||
通孔尺寸 |
60×60 |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
8/5 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
µrad |
|
推/拉力 |
40/15 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.2/Y0.2 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
X240/Y400 |
Hz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
30/5 |
ms±20% |
|
闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
50 |
Hz±20% |
行程 |
10 |
||
大承载 |
1 |
kg |
|
静电容量 |
3.6/轴 |
μF±20% |
|
材质 |
钢、铝 |
||
重量 |
660 |
g±5% |
|
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
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