产品名称：芯明天直驱机构式压电扫描台
产品型号：P77Z
产品报价：
产品特点：芯明天直驱机构式压电扫描台 P77压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心为106mm大通光孔，压电陶瓷直驱机构，内置高性能压电陶瓷，可以实现Z 轴20μm的位移行程，无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率，闭环版本定位精度可达纳米级，是光学移相器的选择。
更新日期：2026-07-20
芯明天直驱机构式压电扫描台P77系列压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心为106mm大通光孔，压电陶瓷直驱机构，内置高性能压电陶瓷，可以实现Z 轴20μm的位移行程，无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率，闭环版本定位精度可达纳米级，是光学移相器的选择。
芯明天直驱机构式压电扫描台P77压电扫描台典型应用
• 显微成像
• 表面检测
• 闭环重复定位精度高
• 干涉/计量
• 精密定位
• 移相器 •
光学捕获
应用案例
大孔径、大承载、高谐振频率
P77系列压电扫描台采用优异的柔性铰链导向机构设计， 利用有限元分析优化， 刚度可达8 N/ μm，空载谐振频率 300Hz。
闭环版本内置高精度传感器，对位移实时监测反馈，可 实现纳米级的重复定位精度及线性度。
压电扫描台中心106mm的大通光孔，该产品已广泛应用于激光平面干涉仪等设备。
芯明天P77压电移相器以其大通孔、纳米级分辨率、高精度等特 点广泛应用于现代干涉仪中，大大提高了干涉仪的测量精度。
P77压电扫描台特性：
Z轴运动
• 大行程20μm
• 大承载5kg
• 通孔直径：Ø106mm
技术参数：
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P77.Z20S P77.Z20K |
单位 |
运动自由度 |
Z |
||
标称行程范围（0~120V） |
14 |
μm±20% |
|
大行程范围（-20~150V） |
20 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
||
通孔尺寸 |
Ø106 |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
1/0.5 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
|
推/拉力 |
120/50 |
N |
|
运动方向刚度 |
8 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
300 |
Hz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
5/2.5 |
ms±20% |
|
闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
60 |
Hz±20% |
行程 |
10 |
||
大承载 |
5 |
kg |
|
静电容量 |
5.4 |
μF±20% |
|
材质 |
铝 |
||
重量 |
1600 |
g±5% |
|
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