产品名称：芯明天放大机构式压电扫描台
产品型号：P78Z
产品报价：
产品特点：芯明天放大机构式压电扫描台 P78压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心方形通孔尺寸为64×64mm，放大机构内置高性能压电陶瓷，可以实现 Z轴210μm或300μm的位移行程，优异的柔性铰链导向机构具有超高的定位精度，适用于需要大行程精密定位的应用领域。
更新日期：2026-07-20
芯明天放大机构式压电扫描台
P78系列压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心方形通孔尺寸为64×64mm，放大机构内置高性能压电陶瓷，可以实现Z轴210μm或300μm的位移行程，优异的柔性铰链导向机构具有超高的定位精度，适用于需要大行程精密定位的应用领域。
P78压电扫描台特性：
•Z轴运动•开环闭环可选•大行程300μm•闭环重复定位精度高
芯明天放大机构式压电扫描台典型应用
• 显微成像 • 表面检测
• 干涉/计量 • 精密定位
• 生物技术 • 微操作
大通孔、大位移、高分辨、高精度
P78系列压电扫描台，采用机构放大设计原理，可以实现 Z轴210μm或300μm的位移行程。优异的柔性铰链导向机构 采用有限元分析进行优化实现纳米级的分辨率、毫秒级的响应 时间。
P78系列压电扫描台可选择配置闭环传感器，对位移实现 实时监测并反馈给闭环压电控制器，实现纳米级精密控制。扫 描台台体中心通孔尺寸64×64mm，适用于干涉、扫描、表面 检测等应用。
闭环重复定位精度高
P78. Z压电扫描台满幅值300μm的闭环重复定位精度为 0.05%。
P78压电扫描台技术参数：
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P78.Z200SP78.Z200K |
P78.Z300SP78.Z300K |
单位 |
运动自由度 |
Z |
Z |
||
标称行程范围（0~120V） |
150 |
210 |
μm±20% |
|
大行程范围（-20~150V） |
210 |
300 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
||
通孔尺寸 |
64×64 |
64×64 |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
7/3 |
10/5 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.04/- |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<20 |
<30 |
µrad |
|
推/拉力 |
50/8 |
30/5 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.35 |
0.15 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
300 |
150 |
Hz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
15/3.2 |
30/3.2 |
ms±20% |
|
闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
80 |
50 |
Hz±20% |
行程 |
15 |
10 |
||
大承载 |
1.5 |
0.5 |
kg |
|
静电容量 |
7.2 |
7.2 |
μF±20% |
|
材质 |
铝 |
铝 |
||
重量 |
340 |
340 |
g±5% |
|
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
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