产品名称：S54压电偏摆/旋转台
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产品特点：S54压电偏摆/旋转台是中心通孔二维θxθy轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，中心大透空 孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
更新日期：2026-07-21
S54压电偏摆/旋转台是中心通孔二维θxθy轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大透空 孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
特性：
• θx,θy偏摆运动•开环/闭环可选择•80×80mm大通孔•分辨率高•外形超薄
典型应用
• 光束扫描 • 激光合束对准与激光致盲
• 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统
• 微操作 • 掩模与晶片位置调整
应用实例
S54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用 于军事激光等领域。
闭环传感精度高
S54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限 元分析优化，使角度偏移达到小，无空回、无摩擦。
采用压电陶瓷驱动实现大偏转范围±1.1mrad，分 辨率高达0.05μrad，可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S. 的重复定位精度。
台体非常薄，厚度仅为20mm，中心通孔尺寸为 80×80mm，P54压电偏转台是亚微弧度精密光束调整、 计量、定位等应用的选择。
负载大镜片
S54压电偏转台中心大通光孔达80×80mm，非常适用于需要透 射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。
S54压电偏摆/旋转台技术参数：
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
S54.T2S S54.T2K |
单位 |
运动自由度 |
θx,θy |
||
标称偏摆角度(0~+120V) |
±0.8/轴 |
mrad±20% |
|
大偏摆角度(-20~+150V) |
±1.1/轴 |
mrad±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
||
闭/开环偏摆分辨率 |
0.25/0.05 |
μrad |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
推/拉力 |
40/8 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.5 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
300 |
Hz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
20/3.5 |
ms±20% |
|
闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
50 |
Hz±20% |
行程 |
15 |
||
大承载 |
1 |
kg |
|
静电容量 |
3.6/轴 |
μF±20% |
|
材质 |
铝、钢 |
||
重量 |
510 |
g±5% |
|
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
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