产品名称：S51压电偏摆/旋转台
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产品特点：S51压电偏摆/旋转台是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大通 孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
更新日期：2026-07-21
S51压电偏摆/旋转台是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大通 孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
特性：
θx, θy偏摆运动，Z向升降•闭环定位精度高•响应速度快•透光孔：80×80mm
典型应用
• 扫描显微 • 激光合束对准与激光致盲
• 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统
• 生物技术 • 掩模与晶片位置调整
仿真分析
通过有限元FEA优化的铰链用于导向机构偏转台。有限元分析技术用于设计运动方向上的刚度，并减少角度偏差。铰链部分允许 *精度的运动，因为铰链机构无间隙、无摩擦。
超高导向精度、分辨率高、闭环传感精度高
S51系列压电偏转台为θx,θy轴偏摆Z轴升降台，偏转 行程为±1.1mrad，Z轴直线行程可达110μm。P51偏转台台体采用无回差柔性铰链导向结构，采用 有限元分析进行优化，具有超高的刚度以及导向精度。可选择内置精密传感器进行全闭环位置反馈，确保其 具有的运动控制精度，直线运动分辨率可达到亚纳米 级、偏转分辨率达亚微弧度、定位稳定时间为毫秒量级。
超薄的设计适用于显微应用
S51系列偏摆/倾斜、升降台是专门为对准、纳米聚焦、计量等应 用设计的，台体非常薄，厚度仅为20mm，非常易于集成到高精度显 微镜中。
S51压电偏摆/旋转台技术参数：
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
S51.ZT1S S51.ZT1K |
单位 |
运动自由度 |
θx, θy,Z |
||
标称直线行程范围(0~+120V) |
80 |
μm±20% |
|
大直线行程范围(-20~+150V) |
110 |
μm±20% |
|
标称偏摆角度(0~+120V) |
±0.9/轴 |
mrad±20% |
|
大偏摆角度(-20~+150V) |
±1.1/轴 |
mrad±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
||
闭/开环Z向位移分辨率 |
7/4 |
nm |
|
闭/开环θx,θy偏摆分辨率 |
0.25/0.05 |
μrad |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
推/拉力 |
120/15 |
N |
|
运动方向刚度（Z向） |
1.5 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
230 |
Hz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
30/4.5 |
ms±20% |
|
闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
50 |
Hz±20% |
行程 |
15 |
||
大承载 |
1 |
kg |
|
静电容量 |
3.6/轴 |
μF±20% |
|
材质 |
铝、钢 |
||
重量 |
820 |
g±5% |
|
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
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