P32系列Z向/俯仰/偏转镜体积小巧、结构紧凑，可实现大6mrad偏转，Z轴40μm的直线运动。提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动，直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧 度，响应时间可达毫秒量级。

工作原理

P32偏转镜是基于3个压电陶瓷机构设计而成的，由三支压 电陶瓷驱动，以120°角平分放置，采用坐标变换，运动可以分不 同机构之间控制。这种结构设计除了可实现平台的倾斜，也可实 现平台Z向的直线移动，可以用于校正光学路径长度。其中， A、B、C表示测量的3点处位移量，两轴摆角及Z向位移的简便计 算公式分别如下，

典型应用

• 图像处理与稳定 • 光学捕获

• 激光扫描与光束偏转 • 激光调谐

• 光过滤/光开关 • 光学/光束稳定

负载频率曲线 推荐控制器

E01	E00	E70
页码 157	页码 157	页码 167
3路输出（1路恒压）	3路输出（1路恒压）	3路输出（1路恒压）
模拟、上位机通信、旋钮	模拟、上位机通信、旋钮	模拟与数字控制
开环闭环	开环闭环	开环闭环
平均功率7W	平均功率35W/通道	平均功率5W/通道

高分辨率、高稳定性及动态性

P32压电偏转镜体积紧凑，内部装配带有预紧的高可靠性压电 促动器，集成在复杂的、FEA建模分析的柔性铰链导向系统。压电 促动器是叠堆共烧型压电陶瓷，比传统的压电促动器提供更好的性 能及可靠性。

P32压电偏转镜采用基于平行运动学的压电陶瓷直驱式三脚架 结构，数十亿次的运动周期操作而*或性能下降，非常适合 工业应用。

三脚架结构设计在较大的温度范围内提供优化的角度稳定 性。这种设计具有体积更小巧、两轴具有相同的大小及动态性能、 更快的响应速度及更好的线性度等优势，也防止了偏振旋转。

特性：

• θx, θy偏转，Z轴升降 • 大偏转范围6mrad • 毫秒级响应时间

• 闭环定位精度高

• 温度稳定性高

P32系列Z向/俯仰/偏转镜技术参数

型号	尾缀S-闭环 尾缀K-开环	P32.ZT4S P32.ZT4K	单位
运动自由度		θx, θy, Z
θx, θy标称偏转角度（0~120V）		5	mrad±20%
Z向标称行程（0~120V）		30	μm±20%
θx, θy大偏转角度（-20~150V）		6	mrad±20%
Z向大行程（-20~150V）		40	μm±20%
传感器类型		SGS/-
闭/开环θx, θy偏转分辨率		0.1/0.05	μrad
闭/开环Z向直线分辨率		1/0.5	nm
闭环线性度		0.05/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.02/-	%F.S.
空载谐振频率（θx, θy）		2	kHz±20%
闭/开环空载阶跃时间		5/2	ms±20%
闭环空载 工作频率	10%行程	500	Hz±20%
	行程	40
静电容量		3.6/轴	μF±20%
材质		钢
重量		350	g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。