P32三维θxθyZ向压电偏转镜 6mrad 37.5μm$n压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，偏转镜具有较好的运动精度和高稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。 《查看更多》

P32系列Z向/俯仰/偏转镜体积小巧、结构紧凑，可实现大6mrad偏转，Z轴40μm的直线运动。提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动，直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧 度，响应时间可达毫秒量级。 《查看更多》