产品名称：三维XYZ向压电纳米定位台
产品型号：XP-62X
产品报价：
产品特点：三维XYZ向压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台，平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优 化，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有好的控制精度，分辨率和稳定 性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电平台体积小、结构紧凑易 于集成。
更新日期：2026-07-21
三维XYZ向压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台，平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优 化，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有好的控制精度，分辨率和稳定 性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电平台体积小、结构紧凑易 于集成。
特性：
1~3维自由组合
• 位移行程8μm • 大承载0.8kg • 重复定位精度可达纳米级
• 亚毫秒响应时间
1-3维平移台
P63系列压电纳米定位台，包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多种运动方式可选。超小体积易于集成配套。
典型应用
• 显微成像 • 纳米定位
• 生物技术 • 半导体技术
• 质量保证测试 • 微车削
• 原子力显微镜
小体积、高精度、响应速度快
P63系列压电纳米定位台重要的特点是超级精密 且体积非常小巧，尺寸仅为30×24×42mm（X轴尺寸 为30×24×21mm），易于集成到任何扫描仪器中。
P63系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统，是 为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设 计的，具有超低惯性，响应时间可达0.3ms，可配置 高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。
应用实例
P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削 力测试实验中。
三维XYZ向压电纳米定位台技术参数：
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P63.X7S P63.X7K |
P63.Z7S P63.Z7K |
P63.XY7S P63.XY7K |
P63.XZ7S P63.XZ7K |
P63.XYZ7S P63.XYZ7K |
单位 |
运动自由度 |
X |
Z |
X、Y |
X、Z |
X、Y、Z |
||
标称行程范围（0~120V） |
5.5 |
5.5 |
5.5/轴 |
5.5/轴 |
5.5/轴 |
μm±20% |
|
大行程范围（-20~150V） |
8 |
8 |
8/轴 |
8/轴 |
8/轴 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
||
闭/开环分辨率 |
0.2/0.1 |
0.2/0.1 |
0.2/0.1 |
0.2/0.1 |
0.2/0.1 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
0.2/- |
0.2/- |
0.2/- |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
0.1/- |
0.1/- |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<5 |
<5 |
<10 |
<10 |
<15 |
µrad |
|
推/拉力 |
10/2 |
12/2 |
8/2 |
9/2 |
7/2 |
N |
|
运动方向刚度 |
1.5 |
2 |
X1.2/Y1.4 |
X1.2/Z1.5 |
X0.9/Y1/Z1.2 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
2 |
2.5 |
X1.3/Y1.9 |
X1.5/Z1.6 |
X0.9/Y0.95/Z1.2 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
1.5/0.3 |
1.5/0.3 |
1.5/0.3 |
1.5/0.3 |
1.5/0.3 |
ms±20% |
|
闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
1000 |
1000 |
500 |
500 |
200 |
Hz±20% |
行程 |
200 |
200 |
100 |
100 |
50 |
||
大承载 |
0.8 |
0.8 |
0.5 |
0.5 |
0.4 |
kg |
|
静电容量 |
0.8 |
0.8 |
0.8/轴 |
0.8/轴 |
0.8/轴 |
μF±20% |
|
材质 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
||
重量 |
70 |
70 |
120 |
120 |
160 |
g±5% |
|
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
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