产品名称：P18系列压电扫描台
产品型号：P-18系列
产品报价：
产品特点：P18系列压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描，大通光孔径为Ø35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。
更新日期：2026-07-21
P18系列压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描，大通光孔径为Ø35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。
特性：
• 大位移370μm
• 大承载3.5kg
• 通孔直径：Ø35mm
1~3维扫描台
P18压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。
典型应用
• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快
• 图像处理与稳定 • 扫描显微
• 干涉/计量 • 表面检测
• 半导体测量 • 光学计量
大位移、大承载、高刚度、高频响
P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以 实现大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。
P18采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承 载等特点，大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配 套芯明天大功率控制器响应时间高可达5ms，是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用的选择。
在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动， 从而优化镜片读取的信息。
芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用 于纳米光刻实验。
技术参数：
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P18.X200S P18.X200K |
P18.X300S P18.X300K |
P18.XY200S P18.XY200K |
P18.XY300S P18.XY300K |
P18.XYZ200S P18.XYZ200K |
单位 |
运动自由度 |
X |
X |
X、Y |
X、Y |
X、Y、Z |
||
标称行程范围(0~120V) |
200 |
300或±150 |
200/轴 |
300或±150/轴 |
200/轴 |
μm±20% |
|
大行程范围(-20~150V) |
280 |
370或±185 |
280/轴 |
370或±185/轴 |
280/轴 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
||
通孔尺寸 |
Ø35 |
Ø35 |
Ø35 |
Ø35 |
Ø35 |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
8/5 |
10/5 |
8/5 |
10/5 |
8/5 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
0.2/- |
0.2/- |
0.2/- |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.15/- |
0.1/- |
0.15/- |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<15 |
<10 |
<15 |
<15 |
µrad |
|
推/拉力 |
60/20 |
150/150 |
60/20 |
150/150 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
0.5 |
X0.3/Y0.3 |
X0.5/Y0.5 |
X0.1/Y0.1/Z0.1 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
500 |
600 |
X200/Y450 |
X250/Y500 |
X300/Y200/Z120 |
Hz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
30/5 |
30/10 |
50/5 |
50/10 |
50/5 |
ms±20% |
|
闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
100 |
50 |
50 |
40 |
30 |
Hz±20% |
行程 |
30 |
15 |
15 |
10 |
5 |
||
大承载 |
2 |
3.5 |
1.5 |
3 |
1 |
kg |
|
静电容量 |
11 |
21 |
11/轴 |
21/轴 |
11/轴 |
μF±20% |
|
材质 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
||
重量 |
200 |
220 |
360 |
380 |
600 |
g±5% |
|
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
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