金属密封型压电促动器因外壳做了全密封，实现了与大气环境的绝缘，进而受环境湿度影响较小，具有更长的使用寿命和更高性能，非常适用于需要高可靠性的半导体器件制造设备和光通信设备等各种应用。 《查看更多》

VH13 系列金属密封压电促动器可实现一维 Z 向位移，有 42μm、46μm 两种行程可选。由于与大气绝缘，受环境湿度的影响要小得多。具有更长的使用寿命和更高性能，适用于需要高可靠性的半导体器件制造设备和光通信设备等各种应用中使用。 《查看更多》