压电陶瓷在半导体技术领域的应用
在半导体领域，我公司提供各种基于压电陶瓷的解决方案，包括用于减震的长寿命压电元件，用于定位的高性能大行程纳米定位陶瓷。其他的精密运动产品还包括用于快速光束稳定/角度校正的压电偏摆平台，用于纳米测量应用的压电柔性纳米台，用于掩模对准的纳米对准系统，用于水平和垂直定位的新型混合大行程纳米定位台。
应用 | 解决方案 | 典型产品 | 产品展示 |
纳米压印 光盘测试 掩模与晶圆对准 物镜精密定位 光刻 | 多轴压电系统 纳米定位台 压电促动器 纳米聚焦系统 | 定制六轴精密压电定位台 P16压电定位扫描台 P76/P72物镜压电定位器 |
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光学干涉 | 闭环压电促动器与柔性导向系统 | 定制大行程物镜扫描器 XP-63X高精度纳米定位器 |  |
电缆接合 | 压电弯片促动器 | 压电弯曲片 |
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光学测试/六轴定位 | 6轴并联机构微定位系统 | N90 Hexapod 6轴定位系统 定制大行程Hexapod系统 |
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大行程纳米对准系统 | 铰链放大压电促动器 1-6轴压电柔性定位台 | P11.XYZ压电定位台 大推力压电促动器 |
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光束扫描与稳定 光学路径校正 | 快速压电偏摆镜系统 | P34 微型压电偏摆镜 P33 高动态压电偏摆镜 |
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主动减震 | 压电堆促动器与陶瓷 | 大推力压电促动器 高压压电陶瓷 薄片型压电传感器/致动器 |
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纵向晶圆定位 | 压电Z/Tip/Tilt偏摆台 | P54压电Z向及Z/Tip/Tilt定位平台 定制六轴精密压电纳米定位台 |
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