E73压电陶瓷控制器是小体积、级联式模块化控制器，该系列控制器由供电/通信模块与驱动/传感模块组合而成。它的设计是专为驱动容性负载，例如压电叠堆陶瓷、压电纳米定位台、压电倾斜镜、压电偏摆/旋转台等。它的输出电压为0~120V，放大器带宽为1kHz，具有模拟与数字两种控制方式，且驱动通道数在1~30通道内自由选择。E73适用于进行倾斜、俯仰、偏摆/差分驱动等高可靠系统的驱动控制，例如压电倾斜镜、压电变形镜等。

E73级联式压电控制器的组成

E73.PD供电/通信模块

E73.PD供电/通信模块如下图所示，它为驱动/传感模块提供供电电源，同时，它具有RS-422及USB上位机通信接口，RS-422接口位于前面板，USB接口位于后面板，可通过它们进行上位机通信控制，它的处理器为32位单片机，72MHz。通过E73压电控制器的软件可进行输出电压、输出位移、波形、设置参数、采集电压与位移等控制。

E73.S3DL驱动/传感模块

E73.S3DL驱动/传感模块的功能是将模拟输入信号放大、输出控制电压信号，并实时采集压电位移产品的传感器信号，通过内部的算法电路完成伺服控制等。如下图所示。

可集成模块数量及输出通道数

E73级联式控制器需要具有一个E73.PD供电/通信模块，而E73.S3DL驱动/传感模块的数量是可根据客户的使用要求自由选择的，至少选择一个，zui多可选择10个。

如下图所示，为E73.S3三通道压电控制器，由1个E73.PD供电通信模块及1个E73.S3DL驱动传感模块组成。

E73压电陶瓷控制器的一个E73.PD供电通信模块可以级联zui多达十个E73.S3DL驱动传感模块，以达到30个通道的驱动控制。

如下图所示，为E73.S30三十通道压电控制器，由1个E73.PD供电通信模块及10个E73.S3DL驱动传感模块组成。

模拟与数字控制

E73级联式压电陶瓷控制器，具有两种通信接口，实现与上位机实时通信，支持上位机软件二次开发。该设备同时还具有模拟信号的位置控制输入端口，便于与其他数字及模拟控制信号集成。操作模式的变换也可通过外部接口进行控制。上位机通信软件可设置电压与位移等参数。

E73压电控制器原理图

E73压电控制器频率与负载曲线

E73压电控制器技术参数