技术参数
型号 |
N90.XYZTR1S |
N90.XYZTR2S |
N90.XYZTR5S |
N90.XYZTR1K
N90.XYZTR2K
N90.XYZTR5K |
单位 |
| 运动自由度 |
X,Y,Z,θx,θy,θz |
同S |
|
X、Y轴标称行程范围
（0~120V） |
±6.5 |
±12.5 |
±25 |
同S |
um±20% |
Z轴标称行程范围
（0~120V） |
±3.2 |
±6.4 |
±12.8 |
同S |
um±20% |
θx,θy轴标称行程范围
（0~120V） |
±0.16 |
±0.32 |
±0.64 |
同S |
mrad±20% |
θz轴标称行程范围
（0~120V） |
±0.24 |
±0.48 |
±0.96 |
同S |
mrad±20% |
刚度 |
50 |
58 |
66 |
同S |
N/um±20% |
重量 |
1 |
1.15 |
1.3 |
同S |
kg±20% |
| 重复精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
| 闭环线性度 |
0.25 |
- |
%F.S. |
结构形式 |
六自由度并联式 |
|
驱动方式 |
压电陶瓷驱动 |
|
zui大承载 |
5 |
kg |
| 谐振频率 |
1 |
kHz±5% |
标称行程驱动电压为：0~120V，zui大行程驱动电压可到-20~150V |
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