技术参数 型号 | P22.U3S | P22.U3K | 单位 | 运动自由度 | θx | θx | | 传感器类型 | SGS | - | | 标称偏转角度（0~+120V） | 2.5 | 同S | mrad±20% | | zui大偏转角度（-20~+150V） | 4 | 同S | mrad±20% | 偏转分辨率 | 0.3 | 0.1 | μrad | 闭环线性度 | 0.2 | - | %F.S. | 重复定位精度 | 0.1 | - | %F.S. | 空载谐振频率(θx) | 3 | 同S | kHz±20% | 静电容量 | 1.8 | 同S | μF±20% | 材质 | 钢 | 同S | | 重量 | 80 | 同S | g±5% | | 出线长 | 1.5 | 同S | m±10mm | 推荐使用芯明天科技“E00与E01模块化控制器”； |
技术参数 型号 | P33.T2S | P33.T4S | P33.T8S | P33.T2K
P33.T4K
P33.T8K | 单位 | | 运动自由度 | θx,θy | θx,θy | θx,θy | θx,θy | | | 传感器类型 | SGS | SGS | SGS | - | | 标称偏转角度
（0~120V） | 2.5 | 5 | 10 | 同S | mrad±20% | | zui大偏转角度（-20~150V） | 3 | 6 | 12 | 同S | mrad±20% | | 偏转分辨率 | 0.2 | 0.4 | 0.6 | 0.1/0.2/0.3 | μrad | | 线性度 | 0.15 | 0.2 | 0.3 | - | %F.S. | | 重复定位精度 | 0.05 | 0.1 | 0.15 | - | %F.S. | | 空载谐振频率(θx,θy) | 3.7 | 3.3 | 3.1 | 同S | kHz±20% | 加载谐振频率θx,θy
(加载φ25x8mm玻璃镜片) | 2.6 | 1.6 | 1.0 | 同S | kHz±20% | | 静电容量 | 3.6 | 7.2 | 14.5 | 同S | μF/轴±20% | | 材质 | 钢 | 钢 | 钢 | 同S | | | 重量 | 0.2 | 0.38 | 0.7 | 同S | kg±5% | | 偏转台长度L | 38 | 56 | 92 | 同S | mm±0.1mm | | 出线长 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | | 出线方式 | 底/侧出线 | 底/侧出线 | 底/侧出线 | 底/侧出线 | |
技术参数 型号 | P32.ZT4S | P32.ZT4K | 单位 | | 运动自由度 | Z,θx,θy | Z,θx,θy | | | 传感器类型 | SGS | - | | | θx,θy标称偏转角度（0~120V) | 5 | 同S | mrad±20% | | Z向标称行程（0~120V） | 30 | 同S | μm±20% | | θx,θyzui大偏转角度（-20~150V） | 6 | 同S | mrad±20% | | Z向zui大行程（-20~150V） | 40 | 同S | μm±20% | | Z向位移分辨率 | 2.4 | 1.2 | nm | | θx,θy偏转分辨率 | 0.4 | 0.2 | urad | | 闭环线性度 | 0.2 | - | %F.S. | | 闭环重复定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | | 空载谐振频率(θx,θy) | 2 | 同S | kHz±20% | 加载响应频率θx,θy
(加载φ25x8mm玻璃镜片) | 1 | 1 | kHz±20% | | 静电容量 | 3.6 | 同S | μF/轴±20% | | 材质 | 钢 | 同S | | | 重量 | 0.35 | 同S | kg±5% | | 偏转台长度L | 56 | 同S | mm±0.1mm | | 出线长 | 1.5 | 同S | m±10mm | | 出线方式 | 底/侧出线 | 底/侧出线 | | zui大驱动电压可在-20V~150V使用；长期使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。 | 推荐使用我公司“E00与01模块化控制器”；
模块化设计，可根据客户要求自由组合成上百种产品；
*的主控模块，可提高闭环线性度；
具有自发波形功能，无需外接控制信号，可自行发出正弦波、三角波、锯齿波、方波等波形；幅值、电压、偏移量、负载等参数均可设置；可实时显示与检测电压或位移值...... |
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