技术参数
型号 |
P22.U3S |
P22.U3K |
单位 |
运动自由度 |
θx |
θx |
|
传感器类型 |
SGS |
- |
|
标称偏转角度（0~+120V） |
2.5 |
同S |
mrad±20% |
| zui大偏转角度（-20~+150V） |
4 |
同S |
mrad±20% |
偏转分辨率 |
0.3 |
0.1 |
μrad |
闭环线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
空载谐振频率(θx) |
3 |
同S |
kHz±20% |
静电容量 |
1.8 |
同S |
μF±20% |
材质 |
钢 |
同S |
|
重量 |
80 |
同S |
g±5% |
| 出线长 |
1.5 |
同S |
m±10mm |
推荐使用芯明天科技“E00与E01模块化控制器”； |
技术参数
型号 |
P33.T2S |
P33.T4S |
P33.T8S |
P33.T2K
P33.T4K
P33.T8K |
单位 |
| 运动自由度 |
θx,θy |
θx,θy |
θx,θy |
θx,θy |
|
| 传感器类型 |
SGS |
SGS |
SGS |
- |
|
标称偏转角度
（0~120V） |
2.5 |
5 |
10 |
同S |
mrad±20% |
| zui大偏转角度（-20~150V） |
3 |
6 |
12 |
同S |
mrad±20% |
| 偏转分辨率 |
0.2 |
0.4 |
0.6 |
0.1/0.2/0.3 |
μrad |
| 线性度 |
0.15 |
0.2 |
0.3 |
- |
%F.S. |
| 重复定位精度 |
0.05 |
0.1 |
0.15 |
- |
%F.S. |
| 空载谐振频率(θx,θy) |
3.7 |
3.3 |
3.1 |
同S |
kHz±20% |
加载谐振频率θx,θy
(加载φ25x8mm玻璃镜片) |
2.6 |
1.6 |
1.0 |
同S |
kHz±20% |
| 静电容量 |
3.6 |
7.2 |
14.5 |
同S |
μF/轴±20% |
| 材质 |
钢 |
钢 |
钢 |
同S |
|
| 重量 |
0.2 |
0.38 |
0.7 |
同S |
kg±5% |
| 偏转台长度L |
38 |
56 |
92 |
同S |
mm±0.1mm |
| 出线长 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
| 出线方式 |
底/侧出线 |
底/侧出线 |
底/侧出线 |
底/侧出线 |
|
技术参数
型号 |
P32.ZT4S |
P32.ZT4K |
单位 |
| 运动自由度 |
Z,θx,θy |
Z,θx,θy |
|
| 传感器类型 |
SGS |
- |
|
| θx,θy标称偏转角度（0~120V) |
5 |
同S |
mrad±20% |
| Z向标称行程（0~120V） |
30 |
同S |
μm±20% |
| θx,θyzui大偏转角度（-20~150V） |
6 |
同S |
mrad±20% |
| Z向zui大行程（-20~150V） |
40 |
同S |
μm±20% |
| Z向位移分辨率 |
2.4 |
1.2 |
nm |
| θx,θy偏转分辨率 |
0.4 |
0.2 |
urad |
| 闭环线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
| 闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
| 空载谐振频率(θx,θy) |
2 |
同S |
kHz±20% |
加载响应频率θx,θy
(加载φ25x8mm玻璃镜片) |
1 |
1 |
kHz±20% |
| 静电容量 |
3.6 |
同S |
μF/轴±20% |
| 材质 |
钢 |
同S |
|
| 重量 |
0.35 |
同S |
kg±5% |
| 偏转台长度L |
56 |
同S |
mm±0.1mm |
| 出线长 |
1.5 |
同S |
m±10mm |
| 出线方式 |
底/侧出线 |
底/侧出线 |
|
zui大驱动电压可在-20V~150V使用；长期使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。 |
推荐使用我公司“E00与01模块化控制器”；
模块化设计，可根据客户要求自由组合成上百种产品；
*的主控模块，可提高闭环线性度；
具有自发波形功能，无需外接控制信号，可自行发出正弦波、三角波、锯齿波、方波等波形；幅值、电压、偏移量、负载等参数均可设置；可实时显示与检测电压或位移值...... |
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