压电移相器是移相干涉仪中非常重要的部件，压电式移相器由于分辨率高、响应速度快、易于控制、性能稳定，因此被广泛使用。 压电移相器应用案例：
图像处理/稳定
干涉法
激光扫描/光束偏转
激光调谐
光过滤/开关
光束稳定 压电移相器特点:
用于扫描、光学对准及镜子移动装置对准
10mm中空
压电三脚设计
光束偏转可达2.4mrad
活塞运动可达12μm（移相器）
亚毫秒响应，亚微弧度分辨率
用于光学，镜片或其他部件
无摩擦，高精度弯曲导向系统
平行运动学扩展动态性及更好的多轴精度 压电移相器技术参数： | 型号 | 开环-K | 移相器 | 偏转镜 | 单位 | | P36.Z1K | P36.ZT1K | | 运动自由度 | Z | Z、θx、θy | | | 运动和定位 | | 传感器类型 | - | - | | | θx、θy标称偏转角度 | 0~120 V | - | 550 | μrad±20% | | -20~150 V | - | 800 | μrad±20% | | Z向直线行程范围 | 0~120 V | 8 | 8 | µm±20% | | -20~150 V | 12 | 12 | µm±20% | | 偏转分辨率 | - | 0.02 | µrad，typ. | | 直线分辨率 | 0.1 | 0.1 | nm，typ. | | 机械性能 | | 空载谐振频率 | 7.5 | 7.5 | kHz±20% | | 驱动性能 | | 静电容量 | 0.4 | 0.4 | μF/轴±20% | | 其他 | | 工作温度范围* | -20~80 | -20~80 | °C | | 材质 | 钢 | 钢 | | | 外形尺寸（直径-内径/高） | 20-10/19.5 | 20-10/19.5 | mm×mm×mm | | 重量 | 50 | 80 | g±5% | | 出线长 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | | 电压连接器** | LEMO | LEMO | |
*可定制超低温版本及超高真空版本。 **可定制连接器 |
