压电移相器是移相干涉仪中非常重要的部件，压电式移相器由于分辨率高、响应速度快、易于控制、性能稳定，因此被广泛使用。压电移相器应用案例：
图像处理/稳定
干涉法
激光扫描/光束偏转
激光调谐
光过滤/开关
光束稳定 压电移相器特点:
用于扫描、光学对准及镜子移动装置对准
10mm中空
压电三脚设计
光束偏转可达2.4mrad
活塞运动可达12μm（移相器）
亚毫秒响应，亚微弧度分辨率
用于光学，镜片或其他部件
无摩擦，高精度弯曲导向系统
平行运动学扩展动态性及更好的多轴精度 压电移相器技术参数：
| 型号 |
开环-K |
移相器 |
偏转镜 |
单位 |
| P36.Z1K |
P36.ZT1K |
| 运动自由度 |
Z |
Z、θx、θy |
|
| 运动和定位 |
| 传感器类型 |
- |
- |
|
| θx、θy标称偏转角度 |
0~120 V |
- |
550 |
μrad±20% |
| -20~150 V |
- |
800 |
μrad±20% |
| Z向直线行程范围 |
0~120 V |
8 |
8 |
µm±20% |
| -20~150 V |
12 |
12 |
µm±20% |
| 偏转分辨率 |
- |
0.02 |
µrad，typ. |
| 直线分辨率 |
0.1 |
0.1 |
nm，typ. |
| 机械性能 |
| 空载谐振频率 |
7.5 |
7.5 |
kHz±20% |
| 驱动性能 |
| 静电容量 |
0.4 |
0.4 |
μF/轴±20% |
| 其他 |
| 工作温度范围* |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
| 材质 |
钢 |
钢 |
|
| 外形尺寸（直径-内径/高） |
20-10/19.5 |
20-10/19.5 |
mm×mm×mm |
| 重量 |
50 |
80 |
g±5% |
| 出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
| 电压连接器** |
LEMO |
LEMO |
|
*可定制超低温版本及超高真空版本。 **可定制连接器 |
