P63.XY18S P63.XY18K 压电纳米定位台产品特点 XY 轴行程 18μm/ 轴 开 / 闭环可选 承载可达 0.5kg 真空版本可选 技术参数：
型号 |
S-闭环 K-开环 |
P63.XY18S |
P63.XY18K |
单位 |
运动自由度 |
X、Y |
X、Y |
|
驱动控制 |
2路驱动，2路传感 |
2路驱动 |
|
标称行程范围（0 ~+120 V） |
16/轴 |
16/轴 |
μm±10% |
Max.行程范围（0~+150 V） |
18/轴 |
18/轴 |
μm±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
|
闭/开环分辨率 |
0.6 |
0.2 |
nm |
闭环线性度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.25 |
- |
%F.S. |
俯仰/偏航/滚动 |
≤15 |
≤15 |
μrad |
空载谐振频率 |
2 |
2 |
KHz±20% |
闭/开环空载阶跃时间 |
8 |
0.5 |
ms±20% |
承载能力 |
0.5 |
0.5 |
kg |
静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF±20% |
工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
材质 |
铝 |
铝 |
|
出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
P63.XY18S P63.XY18K 压电纳米定位台尺寸图 
|
