芯明天六轴并联机构压电偏摆台 N90系列六自由度并联机构，是θx, θy, θz, X, Y, Z六轴运动工作台，通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动，台体结构紧凑，三种规格型号可供选择，闭环型号定位精度高，是六自由度微操作、微电子精密加工等应用的选择。 《查看更多》

芯明天电容传感式压电定位台 电容传感式X/Z轴压电纳米定位台为X轴平移运动或Z向升降运动平台，多款型号可选，大行程可达1mm，定位精度可达纳米级。 《查看更多》

芯明天放大机构式压电纳米定位台 P13系列压电纳米定位台为二维XY、三维XYZ压电平台，台体采用平行运动学机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，大位移为40μm/轴。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。 《查看更多》

芯明天放大机构式压电纳米定位台 XP-611系列压电纳米定位台为一维X轴或Z轴压电平移台，采用机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，可实现X轴或Z轴100μm的位移行程，柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高，是一维精密定位与扫描的理想选择。 《查看更多》

芯明天放大机构式压电纳米定位台 N60系列压电纳米定位台为一维X轴压电平移台，内置高性能压电陶瓷可以实现X轴大34μm的位移，优异的机构放大设计原理，X轴运动直线性好，开环闭环可选，产品体积小巧、结构紧凑、集成度高，是小体积高精度一维精密定位的理想选择。 《查看更多》

芯明天直驱机构式压电纳米定位台 XP-63X压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有刚度大、分辨率高、响应速度快等特点，可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。 《查看更多》

芯明天放大机构式压电扫描台 P78压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心方形通孔尺寸为64×64mm，放大机构内置高性能压电陶瓷，可以实现 Z轴210μm或300μm的位移行程，优异的柔性铰链导向机构具有超高的定位精度，适用于需要大行程精密定位的应用领域。 《查看更多》

芯明天直驱机构式压电扫描台 P77压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心为106mm大通光孔，压电陶瓷直驱机构，内置高性能压电陶瓷，可以实现Z 轴20μm的位移行程，无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率，闭环版本定位精度可达纳米级，是光学移相器的选择。 《查看更多》

芯明天放大机构式压电扫描台 P17压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可 靠性压电陶瓷，可以实现XY轴210μm的扫描范围，通光孔为60×60mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。 《查看更多》

芯明天放大机构式压电扫描台 P16压电扫描台为XY轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心通孔孔径为20mm，该系列扫描台有50μm与100μm两种规格行程 可选，开环闭环可选。方形移动台面，便于与外部机械结构安装连接。 《查看更多》

芯明天放大机构式压电扫描台 N12压电扫描台为1~3维并联式平移扫描台，台体中心方形通孔，内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优 化结构，具有超高的导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点，平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈，实现满行程0.04%的 重复定位精度。 《查看更多》

芯明天放大机构式压电扫描台 P12压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3维并联式平移扫描台，台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm，满足显微等应用。压 电扫描台可以实现单轴320μm的位移行程，一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选，以满足不同应用的需求。 《查看更多》

芯明天放大机构式压电扫描台 P-18压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描，大通光孔径为Ø35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。 《查看更多》

芯明天放大机构式压电扫描台 XP-780系列压电扫描台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X轴大220μm的 位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式 实现二维、三维运动。 《查看更多》

P93系列快速刀具定位台是加工微结构表面的关键,它决定了系统可以加工的微结构表面的复杂程度和加工后的表面精度,所以快速刀具定位系统FTS必须要能够实现高频率和高精度的进给。。 《查看更多》

P92系列快速刀具定位台是为超精密车削加工而研发设计的，利用自身所具有的高响应频率、高刚度、高精度等特性，驱动刀具在运动方向快 速微进给，能够实现复杂面形工件或结构的精密加工。 《查看更多》

P92.X70一维X向快速刀具定位器 快速刀具定位器是为超精密车削加工而研发设计的，利用自身所具有的高响应频率、高刚度、高精度等特性，驱动刀具在运动方向快速微进给运动，能够实现复杂面形工件或结构的精密加工。 《查看更多》

直驱机构式压电扫描台 N63压电扫描台为二维XY轴扫描平台，一体式结构设计原理，压电陶瓷直驱机构，可实现8μm的扫描范围，台体高度仅为17mm，闭环版本具有超高的定位精度，适用于显微扫描等应用。 《查看更多》

芯明天放大机构式压电位移台 P79系列Z向样品升降压电扫描台为一维Z轴微动平台，它的移动范围可达210µm，定位分辨率可达3nm。$n$nP79平台可对样品进行Z轴快速精密的聚焦调节，阶跃时间达毫秒量级。主要用于配套宏动XY轴运动扫描平台或压电马达平台使用，在宏动平台进行样品位置的粗调后，再通过P79压电扫描台进行样品位置的精确调整，定位精度达纳米量级。 《查看更多》

芯明天压电旋转台 压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，确保了产品具有良好的偏转精度和超高的稳定性且响应速度快，是激光光束扫描以及激光合束等光路调整$nN20系列压电旋转台为一维θz旋转台，中心透空孔直径20mm，产品体积小巧，zui大旋转角度为0.55mrad，重复定位精度达0.2%F.S.,可带动镜片做精密旋转运动。 《查看更多》